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硅晶圆清洗水可采用超纯水设备生产

2023-11-16

  硅晶圆是半导体制造过程中必不可少的材料之一。它是一种无机非金属材料,主要由硅元素构成,具有良好的稳定性。在半导体制造中,硅晶圆通常用作集成电路、太阳能电池和其他电子设备的基板。硅晶圆的生产需要高精度的加工和严格的质量控制,以确保晶圆的纯度和一致性。

  当硅晶圆被污染时,需要对硅晶圆进行清洗,以此保证它作为电子器械生产原料的纯净度。硅晶圆清洗并不是自来水冲洗就可以的,因为它是精密材料,必须要使用超纯水清洗才可以保护它不受杂质污染。超纯水设备是生产超纯水的专用技术产品,可以稳定连续地生产大批量品质安全可靠的超纯水。

  超纯水设备采用了“双级反渗透系统+EDI模块”的技术工艺。反渗透膜可以有效去除水中含有的钙、镁、钾等金属离子和其他微量元素,还可以将细菌、微生物有效脱除。EDI系统有效保证了超纯水品质,脱盐处理过程中不会产生酸碱废液,不会给后续工艺带来处理负担,省去了酸碱中和处理的步骤,简化了生产工艺。

超纯水设备
超纯水设备

  金年会上海水处理公司超纯水设备内部还设置了独有的靶向离子交换系统,可以将难处理的硼及其他离子定向去除。由于反渗透膜技术的存在,在超纯水生产时可以实现系统的带电荷运行,离子迁移速度会更快,脱盐效果会更好。除此之外,超纯水设备还实现了高度自动化运行,操作非常灵活,节约了人员力量的投资成本。

  超纯水的水质纯度高,主要用作工业生产原料水和精密器械清洗水。采用超纯水清洗硅晶圆能有效保证硅晶圆的无菌性和纯净度。超纯水设备可以稳定连续生产超纯水,不需要更换树脂,具有很高的应用价值。

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  编辑:新奇  技术:木子

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